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Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵

更新時間:2020-07-17

簡要描述:

Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵,采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實現大抽氣量和高前級耐壓,進而能使用更經濟實惠、更小型的前級泵。

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Agilent TwisTorr 804 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實現大抽氣量和高前級耐壓,進而能使用更經濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計,變得高效節能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統降低了噪音和振動,并能保證較佳的軸承工作條件,從而能延長工作壽命,減少系統停機時間,并能確保長時間穩定的抽氣性能。TwisTorr 804 FS 泵獨有的軸承和干式潤滑劑設計,使得泵無需泵油和維護,能夠以任意方向安裝??蛇x擇一體式控制器或機架控制器。

Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵特性:

1.創新的 TwisTorr 技術 — 對小分子氣體的高壓縮比實現了高性能和最小的系統占用空間。

2.高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵,從而降低了系統成本和尺寸。

3.安捷倫懸浮軸承系統 — 低振動、低噪音和較佳軸承工作條件可延長泵的使用壽命,從而實現使用維護成本優化,最減少系統停機時間,并保證長時間穩定的抽氣性能。

4.獨有的軸承和干式潤滑劑 — 免維護、免油,實現任意角度安裝。

5.“三維”泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達到最大,可在泵的操作條件下達到較佳通量和壓縮性能。

典型渦輪泵應用:
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設計旨在實際應用中達到較佳性能。泵的緊湊型設計滿足工業中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護,并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商,安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統。 

典型渦輪泵應用:

領域詳細說明應用
質譜和分析儀器
  • 針對質譜系統優化的全系列泵和控制器
  • 具有多入口泵組的定制泵
  • 低成本、易于使用、高分析性能
  • 對于 GC/MS,提供用于相對低氣體載荷環境的 1 個真空室和用于分析無機樣品的中等真空接口
  • 對于 LC/MS,需要提供多室、高通量真空系統
  • 對于 ICP-MS,提供多種真空系統,包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
  • 對于 TOF 系統,需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設備
  • 質譜
  • GC/MS
  • LC/MS
  • ICP-MS
  • TOF
科研中的真空應用
  • 非常清潔、可靠和高性價比的 HV 和 UHV
  • 粗真空軸承未暴露于 UHV,降低了污染
  • 高速和高壓縮
  • 可以以任意角度安裝
  • 聯用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 高能物理
  • 融合技術
  • 一般 UHV 研究
  • 同步光源粒子加速器
工業真空加工
  • 為薄膜沉積應用而專門設計的集成分子泵解決方案
  • 適用于原始設備制造商和終端用戶的專業性能
  • 適用于具有預真空鎖或大型內聯連續系統的單室批量系統和多室系統的泵

薄膜沉積:

  • 玻璃涂層設備(建筑和汽車玻璃,平板顯示器)
  • 薄膜太陽能電池生產(光電)
  • 光學數據介質(CD、DVD、磁光光盤)
  • 磁性存儲介質
  • 表面處理
  • 光學涂層(眼科、精密光電)
  • 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆

設備加工:

  • 生產電視機和顯示器顯像管
  • 疏散燈(高速公路照明、投影機)
  • X 射線管和電子設備

一般工藝:

  • 真空爐/冶金
納米技術儀器
  • 分析從有機化合物到半導體晶片等各類物質
  • 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴苛的 SEM、TEM 和表面分析系統
  • 低振動渦旋泵適用于最敏感的顯微分析
  • 可快速、無油式排空大型樣品室內的氣體
  • 集成的泵控制器可靈活進行控制,幾乎不生成電磁噪音
  • 非常適合為半導體生產創造合適環境
  • 高轉速確保能夠以高泵速抽空半導體生產中釋放的輕質氣體(He、H)
  • 符合高速循環應用的嚴格要求,例如真空裝載鎖
  • 通過對多個渦旋泵聯用一個前級泵,可提高工具的可靠性
  • 聯用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設備放置于遠處
  • 電子顯微鏡(SEM、TEM)
  • 聚焦離子束系統 (FIB)
  • 表面分析
  • 半導體制造

Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵性能指標 :

抽速:ISO200K-F

ISO250K-F

CFF10
N2
He
H2
Ar
720 L/s
660 L/s
485 L/s
690 L/s
  
氣體通量 (*)風冷
(空氣溫度 25 °C)
水冷
(水溫 15 °C/室溫 25 °C)
 
N24.3 mbar L/s
255 SCCM
6.1 mbar L/s
367 SCCM
 
He7.9 mbar L/s
467 SCCM
10.4 mbar L/s
615 SCCM
 
Ar1.5 mbar L/s
89 SCCM
3.3 mbar L/s
195 SCCM
 
(*) 前級泵 11.6 m3/h   
壓縮比與前級耐壓關系*   
N2
He
H2
Ar
> 1E + 11
2E + 08
3E + 06
1E + 11
10 mbar
10 mbar
4 mbar
8.5 mbar
 
(*) 前級耐壓定義為,在水冷模式下,當渦輪泵仍能產生 100 的壓縮比時的壓力   
采用推薦前級泵時的極限真空< 1 × 10-10 mbar
(< 1 × 10-10 Torr)
  
抽氣口法蘭ISO 200K,ISO 200F,ISO 250K,
ISO 250F,CFF 10 英寸
  
前級管道法蘭NW25 或 NW40  
推薦的前級泵DS302
IDP10
IDP15
  
工作位置任意  
操作環境溫度+5 °C 至 +35 °C  
潤滑油長期性脂潤滑  
冷卻要求   
風冷空氣溫度由 +5 °C 至 35 °C  
水冷水溫由 +15 °C 至 +25 °C
水流速最低 100 L/h
  
噪音壓力級別
(全速運行時距離 1 m 處)
43 dB(A)  

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